1.針對(duì)工藝快速擴(kuò)散系統(tǒng)中的擴(kuò)散工藝路線決策問(wèn)題，提出了擴(kuò)散工藝路線優(yōu)選模型。

2.這為改進(jìn)激光誘導(dǎo)擴(kuò)散工藝，用多次曝光實(shí)現(xiàn)面均勻的雜質(zhì)濃度分布奠定了理論基礎(chǔ)。

3.提升溫度擴(kuò)散工藝被稱為燒結(jié)，有時(shí)還輔之以外界的壓力來(lái)達(dá)到目的。

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